物理气相沉积纳米复合润滑薄膜系列

成果摘要：
　　该项目从试验和理论上弄清了溅射MOS2薄膜在潮湿空气中润滑性能退化直至失效的机理；创造性地将稀土氟化物(REF)用于MOS2基共溅射固体润滑薄膜并产生了明显的协同效应，解决了困扰国际航天界近30年的这一基础问题，所发表的研究论文在国际核心期刊上被连续大量引用。进一步研制出的MOS2+RE+Au共溅射纳米复合润滑薄膜属国内外首创，其抗潮湿特性、摩擦学性能及承载能力均达到了国际先进水平，1998年12月获中国发明专利授权。